MEMSプロセス実習講座－抵抗ボロメータ型赤外線センサを作製しよう－

日時：平成26年2月3日（月）～2月7日（金）
　（実習は4・5日または6・7日を選択下さい）
会場：地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所　　
　　第４研修室、クリーンルーム
　　泉北高速鉄道　和泉中央駅下車　バス８分
　　　 大阪府和泉市あゆみ野２－７－１
主催：センシング技術応用研究会
後援：地方独立行政法人大阪府立産業技術総合研究所
定員：１０名（先着順ですのでお早めにお申し込み下さい）
案内URL : http://tri-osaka.jp/dantai/sstj/micro14.pdf
講義：2 月3 日（月）13:00～17:00
(1)マイクロマシニングのための基礎知識
　（地独）大阪府立産業技術総合研究所　
　　制御・電子材料科主任研究員　田中恒久氏
(2)シリコンマイクロマシニング技術(MEMS技術)
兵庫県立大学　大学院工学研究科電気系工学専攻　
　　　　　　　　　　　教授　前中一介氏
実習：抵抗ボロメータ型赤外線センサの作製
4日(火)・5日(水)又は6日(木)・7日(金)のどちらかを選択